Исследование синергии высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия в титан и энергетического воздействия на поверхность

Аннотация

В работе исследована синергия высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия и последующего воздействия мощного импульсного ионного пучка на микроструктуру и свойстватитана. Образцы титана имплантировали один час при температуре 1170 К с флюенсом ионов 1021 ион/см2. Были получены слои толщиной около 150 мкм. Энергетическое воздействиеосуществлялось мощным наносекундным импульсным ионным пучком с плотностью ионного тока на мишени 100 А/см2. В работе представлены данные об изменении элементного состава,морфологии поверхности и микроструктуры ионно-легированных и энергомодифицированных слоев. Установлено, что дополнительное энергетическое воздействие на ионно-легированный слой мощного импульсного пучка улучшает микроструктуру на глубину более 3,4 мкм.Синергия высокоинтенсивной ионной имплантации алюминия и энергетическое воздействиеимпульсного ионного пучка повышает износостойкость титана в восемнадцать раз.