Ленточный источник электронного пучка, функционирующий в широком диапазоне давлений

Аннотация

Представлена конструкция и основные параметры электронного источника, формирующеголенточный электронный пучок в диапазоне давлений от 10–2 до 10 Па. Ток пучка достигает450 мА при энергии электронов пучка до 8 кВ. Размеры электронного пучка в поперечномсечении 10×220 мм2. Рабочие газы – гелий, аргон, остаточная атмосфера. Расширение диапазона давлений обеспечивается использованием двух разрядных систем – основной и вспомогательной, между которыми существует перепад давлений. Вспомогательная разрядная системафункционирует при давлении единицы паскаль и служит поставщиком заряженных частицдля поддержания разряда в основной системе, работающей в высоком вакууме. Как в основной, так и вспомогательной системах используются тлеющие разряды с полым катодом. Однородность распределения тока пучка по его сечению обеспечивается использованием специальной конструкции эмиссионного электрода, расположенного в аноде основной разряднойсистемы. Степень неоднородности распределения плотности тока электронного пучка не превышает 15% по длине. Полученные параметры электронного пучка являются перспективными с точки зрения генерации пучковой плазмы, инициирования пучково-плазменного разрядаи использования его для реализации плазмохимической обработки материалов.