Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом

Авторы

  • Юлия Андреевна Брюханова
  • Андрей Игоревич Меньшаков
  • Полина Андреевна Скорынина

DOI:

https://doi.org/10.54708/26587572_2023_54147

Ключевые слова:

Анодное испарение, самонакаливаемый полый катод (СНПК) кремнийорганический прекурсор, SiAlCN, PDC покрытия

Аннотация

В работе исследован метод получения керамических PDC покрытий реактивным испарением алюминия в парах кремнийорганического прекурсора в разряде низкого давления с самонакаливаемым полым катодом (СНПК). Методом оптической эмиссионной спектроскопии исследован спектр плазмы разряда с СНПК в условиях испарения Al в среде Ar+N2+гексаметилдисилазан (ГМДС). Получены SiAlCN покрытия со скоростью осаждения до 11,3 мкм/ч. Полученные пленки имели плотную и однородную структуру и обладали твердостью до 25 ГПа и хорошей адгезией на образцах из нержавеющей стали. Результаты СЭМ и РФА показали, что в составе присутствуют все необходимые элементы, а покрытия являются рентгеноаморфными.

Загрузки

Опубликован

2023-12-12

Как цитировать

Брюханова , Ю. А. ., Меньшаков, А. И. ., & Скорынина, П. А. . (2023). Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом. Materials. Technologies. Design, 5(4 (14), 7–13. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_54147

Выпуск

Том 5 № 4 (14) (2023): Materials. Technologies. Design

Раздел

Статьи