Газо-металлические пучково-плазменные образования для нанесения упрочняющих покрытий

Аннотация

Вакуумно-дуговой метод напыления покрытий – один и из наиболее распространенных методов нанесения нитридных тонкопленочных покрытий. В данной работе методом эмиссионной спектроскопии проводилось исследование состава газо-металлического пучково-плазменного образования, сформированного в полом катоде несамостоятельного тлеющего разряда при одновременной работе вакуумно-дуговых испарителей. Также приводятся результаты напыления в двух разрядных схемах: классической схеме вакуумно-дугового напыления с плазменным ассистированием и полом катоде несамостоятельного тлеющего разряда с внешней инжекцией электронов. В обеих схемах в качестве генераторов металлической плазмы используются два электродуговых испарителя. В качестве материалов катодов используются алюминиевый и титановый катоды. В работе проведено сравнение результатов напыления композиционного покрытия системы (ZrTiBSiNi)N. Согласно результатам измерений, значения твердости составили 41 ГПа при осаждении в классической разрядной схеме и 47,8 ГПа при осаждении в газо-металлическом пучково-плазменном формовании, сформированном в полом катоде несамостоятельного тлеющего разряда.