[1]
Каменецких, А.С., Гаврилов, Н.В. , Ершов, А.А. и Третников, П.В. 2023. Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления. Materials. Technologies. Design. 5, 4 (14) (дек. 2023), 30–41. DOI:https://doi.org/10.54708/26587572_2023_541430.