Гурулев A. V. .; Иванова А. I. .; Вахрушев D. О. .; Корнева О. S. .; Ефимов D. D. .; Чернышев, А. А. . Модификация кремния в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия мощного ионного пучка на поверхность. MTD 2024, 6, 91-96.