Каменецких, А. С., Гаврилов, Н. В. ., Ершов, А. А. ., & Третников, П. В. . (2023). Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления. Materials. Technologies. Design, 5(4 (14), 30–41. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_541430