Брюханова , Ю. А. ., Меньшаков, А. И. ., & Скорынина, П. А. . (2023). Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом. Materials. Technologies. Design, 5(4 (14), 7–13. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_54147