Оскирко, В. О. ., Захаров, А. Н. ., Гренадеров, А. С. ., Семенов, В. А. ., & Соловьев, А. А. . (2023). Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности. Materials. Technologies. Design, 5(4 (14), 70–79. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_541470