Гурулев A. V. ., Иванова А. I. ., Вахрушев D. О. ., Корнева О. S. ., Ефимов D. D. ., & Чернышев, А. А. . (2024). Модификация кремния в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия мощного ионного пучка на поверхность. Materials. Technologies. Design, 6(1 (16), 91–96. https://doi.org/10.54708/26587572_2024_611691