Меньшаков, А. И. ., Брюханова, Ю. А. ., Скорынина, П. А. ., & Медведев, А. И. . (2022). ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ РЕАКТИВНОГО АНОДНОГО ИСПАРЕНИЯ ТИТАНА В ПАРАХ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА НА СКОРОСТЬ ФОРМИРОВАНИЯ И ТВЕРДОСТЬ TISICN ПОКРЫТИЙ. Materials. Technologies. Design, 4(4(10), 48–54. https://doi.org/10.54708/26587572_2022_441048