БРЮХАНОВА , Ю. А. .; МЕНЬШАКОВ, А. И. .; СКОРЫНИНА, П. А. . Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом. Materials. Technologies. Design, [S. l.], v. 5, n. 4 (14), p. 7–13, 2023. DOI: 10.54708/26587572_2023_54147. Disponível em: http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3720. Acesso em: 23 ноя. 2024.