Гурулев A. V. .; Иванова А. I. .; Вахрушев D. О. .; Корнева О. S. .; Ефимов D. D. .; ЧЕРНЫШЕВ, А. А. . Модификация кремния в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия мощного ионного пучка на поверхность. Materials. Technologies. Design, [S. l.], v. 6, n. 1 (16), p. 91–96, 2024. DOI: 10.54708/26587572_2024_611691. Disponível em: http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3872. Acesso em: 24 ноя. 2024.