МЕНЬШАКОВ, А. И. .; БРЮХАНОВА, Ю. А. .; СКОРЫНИНА, П. А. .; МЕДВЕДЕВ, А. И. . ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ РЕАКТИВНОГО АНОДНОГО ИСПАРЕНИЯ ТИТАНА В ПАРАХ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА НА СКОРОСТЬ ФОРМИРОВАНИЯ И ТВЕРДОСТЬ TISICN ПОКРЫТИЙ. Materials. Technologies. Design, [S. l.], v. 4, n. 4(10), p. 48–54, 2022. DOI: 10.54708/26587572_2022_441048. Disponível em: http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3432. Acesso em: 3 май. 2024.