Оскирко, Владимир Олегович, Александр Николаевич Захаров, Александр Сергеевич Гренадеров, Вячеслав Аркадьевич Семенов, и Андрей Александрович Соловьев. 2023. «Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности». Materials. Technologies. Design 5 (4 (14):70-79. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_541470.