Брюханова , Ю. А. ., Меньшаков, А. И. . и Скорынина, П. А. . (2023) «Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом», Materials. Technologies. Design, 5(4 (14), сс. 7–13. doi: 10.54708/26587572_2023_54147.