Оскирко, В. О. ., Захаров, А. Н. ., Гренадеров, А. С. ., Семенов, В. А. . и Соловьев, А. А. . (2023) «Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности», Materials. Technologies. Design, 5(4 (14), сс. 70–79. doi: 10.54708/26587572_2023_541470.