[1]
В. О. . Оскирко, А. Н. . Захаров, А. С. . Гренадеров, В. А. . Семенов, и А. А. . Соловьев, «Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности», MTD, т. 5, вып. 4 (14), сс. 70–79, дек. 2023.