[1]
А. Ю. Назаров, А. А. Маслов, А. А. Николаев, и . Э. Л. . Варданян, «ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СТРУКТУРУ И ФРАЗОВЫЙ СОСТАВ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНАТОВ ИТТРИЯ», MTD, т. 4, вып. 3(9), сс. 31–37, окт. 2022.