Оскирко, Владимир Олегович, Александр Николаевич Захаров, Александр Сергеевич Гренадеров, Вячеслав Аркадьевич Семенов, и Андрей Александрович Соловьев. «Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности». Materials. Technologies. Design 5, no. 4 (14) (декабрь 12, 2023): 70–79. просмотрено июль 23, 2024. http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3726.