Каменецких АС, Гаврилов НВ, Ершов АА, Третников ПВ. Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления. MTD [Интернет]. 12 декабрь 2023 г. [цитируется по 23 ноябрь 2024 г.];5(4 (14):30-41. доступно на: http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3702