Брюханова ЮА, Меньшаков АИ, Скорынина ПА. Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом. MTD [Интернет]. 12 декабрь 2023 г. [цитируется по 23 июль 2024 г.];5(4 (14):7-13. доступно на: http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3720