В статье исследовалось влияние точности изготовления микрокольцевых резонаторов (МКР) на характеристики сенсорных систем, а именно – влияние девиации ширины волноводов. Оценивалось отклонение в 8 нм в сторону увеличения или уменьшения ширины. В качестве датчиков использовались микрокольцевые резонаторы на платформах кремний-на-изоляторе (КНИ) и нитрид кремния (SiN). Полученные результаты говорят о том, что неточности в ширине волноводов приводят к резонансному сдвигу, но на различающую способность они не влияют.
Биографии авторов
Алексакина Яна Витальевна, Уфимский университет науки и технологий
асп. каф. ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2022)
Закоян Аида Гайковна, Уфимский университет науки и технологий
магистрант каф. ТС. Дипл. бакалавр (УГАТУ, 2021)
Воронков Григорий Сергеевич
доцент каф. ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2007). Кандидат техн. наук в телекоммуникационных системах, сетях и устройствах (УГАТУ, 2017). Иссл. в лаборатории «Сенсорные системы на основе устройств интегральной фотоники»
Иванов Влад Викторович, Уфимский университет науки и технологий
асп. каф. ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2017)
Кутлуяров Руслан Владимирович, Уфимский университет науки и технологий
доцент каф. ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2008). Кандидат техн. наук в телекоммуникационных системах, сетях и устройствах (УГАТУ, 2017). Иссл. в лаборатории «Сенсорные системы на основе устройств интегральной фотоники»
