В статье описан подход к моделированию микрокольцевой резонаторной структуры на платформе интегральной фотоники нитрид кремния при воздействии на него разных газов, опасных для здоровья человека. Газ меняется путем изменения показателя преломления среды, окружающей резонатор, от 1 (вакуум) до 1,001768 (CCl4). Для различных газов были получены резонансные длины волн микрокольцевой структуры, определены добротность, чувствительность и предел обнаружения. По результатам симуляции видно, что с помощью разработанного сенсора возможно обнаружение широкого спектра опасных для здоровья человека газов, в том числе тетрахлорметана, паров ртути, угарного газа и моноксида азота, хотя различение двух последних газов по итогам текущей работы невозможно
Биографии авторов
Алексакина Яна Витальевна, Уфимский университет науки и технологий
Аспирант кафедры ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2022)
Закоян Аида Гайковна, Уфимский университет науки и технологий
магистрант каф. ТС. Дипл. бакалавр (УГАТУ, 2021)
Воронков Григорий Сергеевич, Уфимский университет науки и технологий
доцент каф. ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2007). Кандидат техн. наук в телекоммуникационных системах, сетях и устройствах (УГАТУ, 2017). Иссл. в лаборатории «Сенсорные системы на основе устройств интегральной фотоники»
Иванов Влад Викторович, Уфимский университет науки и технологий
Аспирант кафедры ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2017)
Кутлуяров Руслан Владимирович, Уфимский университет науки и технологий
доцент кафедры ТС. Дипл. инженер (УГАТУ, 2008). Кандидат техн. наук в телекоммуникационных системах, сетях и устройствах (УГАТУ, 2017). Иссл. в лаборатории «Сенсорные системы на основе устройств интегральной фотоники»
