Алмазоподобные углеродные покрытия, обладающие высокой твердостью и износостойкостью, находят широкое применение в самых разных отраслях промышленности: машиностроении, транспорте, медицине, микроэлектронике и т.д. Разработка новых методов получения таких покрытий является важной и актуальной задачей. В статье описан новый способ нанесения углеродных покрытий, который представляет собой комбинацию процесса магнетронного распыления биполярными импульсами высокой мощности и импульсного вакуумнодугового испарения. В результате формирования импульса магнетронного разряда высокой мощности на поверхности графитовой мишени происходит инициирование электрической дуги длительностью ~ 5 мкс с амплитудой тока ~ 1400 А. После этого на мишень подается положительное напряжение. Предложенная комбинация позволяет генерировать высококонцентрированные потоки ускоренных ионов для бомбардировки растущего покрытия. В работе представлены результаты измерений электрических параметров разряда и исследования структуры полученных углеродных покрытий методом рамановской спектроскопии.Углеродные покрытия, полученные в режиме биполярного комбинированного распыления, характеризуются более высоким содержанием sp3-углерода по сравнению с покрытиями, полученными в комбинированном режиме без положительных импульсов и в режиме среднечастотного импульсного магнетронного распылени
