Разработка технологии нанесения сверхтвердых нанокомпозитных покрытий на основе соединений нитридов металлов методом магнетронного распыления

Авторы

  • Татьяна Дмитриевна Кожина
  • Александр Евгеньевич Сергеев

Ключевые слова:

Магнетронное распыление; нанокомпозитные покрытия; структура покрытий; режущий инструмент

Аннотация

В данном исследовании проводится анализ влияния дуальных импульсных магнетронно-распылительных систем на свойства и структуру покрытий AlTiN для режущего инструмента. Даются рекомендации для импульсного магнетронного распыления.

Загрузки

Опубликован

2018-13-08

Выпуск

Том 16 № 4 (49) (2012): Вестник УГАТУ

Раздел

МАШИНОСТРОЕНИЕ И МАШИНОВЕДЕНИЕ