Разработка технологии нанесения сверхтвердых нанокомпозитных покрытий на основе соединений нитридов металлов методом магнетронного распыления

Tatyana Dmitrievna Kozhina; Aleksandr Evgenevich Sergeev

Разработка технологии нанесения сверхтвердых нанокомпозитных покрытий на основе соединений нитридов металлов методом магнетронного распыления

Authors

Tatyana Dmitrievna Kozhina
Aleksandr Evgenevich Sergeev

Keywords:

Магнетронное распыление; нанокомпозитные покрытия; структура покрытий; режущий инструмент

Abstract

В данном исследовании проводится анализ влияния дуальных импульсных магнетронно-распылительных систем на свойства и структуру покрытий AlTiN для режущего инструмента. Даются рекомендации для импульсного магнетронного распыления.