Технология создания защитных поверхностных слоев на основе разряда с использованием эффекта полого катода

Semen Romanovich Shehtman; Nadezhda Aleksandrovna Suhova; Oleg Vyacheslavovich Golubev

Технология создания защитных поверхностных слоев на основе разряда с использованием эффекта полого катода

Authors

Semen Romanovich Shehtman
Nadezhda Aleksandrovna Suhova
Oleg Vyacheslavovich Golubev

Keywords:

Ионно-плазменные покрытия; полый катод; технология

Abstract

Рассматривается создание многофункциональных вакуумных ионно-плазменных покрытий для специальных поверхностей. Приведены экспериментальные зависимости для покрытий системы Al-Si-Y.