Технология нанесения вакуумных ионно-плазменных  наноструктурированных покрытий Ti-TiN

Viktor Sergeevich Muhin; Radik Maratovich Kireev; Semen Romanovich Shehtman

Технология нанесения вакуумных ионно-плазменных наноструктурированных покрытий Ti-TiN

Authors

Viktor Sergeevich Muhin
Radik Maratovich Kireev
Semen Romanovich Shehtman

Keywords:

Вакуумные ионно-плазменные покрытия; многослойные покрытия; субкристаллическая структура

Abstract

Рассматривается технология нанесения многослойных вакуумных ионно-плазменных наноструктурированных покрытий системы Ti-TiN на сложнопрофильные детали ГТД высокой точности.