Оптимизация геометрических параметров мишени магнетрона по критерию минимизации неравномерности напыления

Авторы

  • Флюр Рашитович Исмагилов
  • Денис Вилевич Максудов

Ключевые слова:

Движение заряженных частиц в скрещенных электрических и магнитных полях; магнетронное напыле ние нанопокрытий; нанотехнологии; равномерность напыления

Аннотация

Приводится математическая модель процесса напыления  в магнетронной распылительной системе (МРС), показана возможность  минимизации неравномерности напыления путем численных экспериментов  и выбора оптимальных геометрических параметров мишени.

Загрузки

Опубликован

2018-29-08

Выпуск

Том 15 № 1 (41) (2011): Вестник УГАТУ

Раздел

******************************