Получение цинкового покрытия на магниевом сплаве методом магнетронного распыления

Аннотация

В работе исследовались образцы из биодеградируемого магния с нанесенным на них цинковым покрытием. Нанесение покрытия осуществлялось методом магнетронного распыления в вакууме с использованием генератора плазмы несамостоятельного дугового разряда «ПИНК» с изменением значения напряжения смещения для определения наилучшей методики нанесения покрытия из цинка. Производились исследования морфологии поверхности, определения толщины полученных покрытий из цинка, их химического состава и распределения элементов в сечении образцов. Результаты определения химического состава покрытия показали, что цинковое покрытие на 90% состоит из цинка, на 10% из кислорода. Наличие преобладающего количества кислорода на границе покрытия и подложки объясняется возможным наличием остаточного кислорода в камере для напыления или возможностью неполного растворения оксидных пленок на мишени и подложке при проведении ионных и плазменных очисток. Результаты измерения толщины образцов из магниевого сплава с цинковым покрытием показывают, что от выбора режимов напыления методом магнетронного распыления зависит толщина получаемого покрытия. По результатам исследований, наилучшим режимом напыления  цинкового слоя на магниевый сплав, из представленных 6 режимов, является использование 0 вольт напряжения смещения при 300 ватт мощности магнетрона, без использования ассистирования плазмой.