Текущее состояние технологий вакуумного осаждения покрытий из МАХ фаз Ti-Al-C

Аннотация

Современная промышленность предъявляет постоянно растущие запросы к конструкционным материалам и покрытиям, призванным обеспечить нужную функциональность изделий, исследователи посвящают все больше и больше работ поиску новых материалов для обеспечения нужных свойств. Среди множества перспективных материалов особое место занимают так называемые Mn+1AXn (МАХ) фазы различных систем, сочетающие в себе свойства металлов и керамик. Одними из наиболее изученных являются МАХ фазы системы Ti-Al-C, имеющие высокие механические характеристики и устойчивость к окислению при температуре 1400°С. В данной работе представлен обзор текущего уровня развития методов получения покрытий из МАХ фаз Ti-Al-C технологией физического осаждения паров (PVD). Рассмотрены публикации, преимущественно посвященные магнетронному напылению в различных конфигурациях, например, с разбалансировкой, в режиме HiPIMS, а также катодно-дуговому осаждению, поскольку эти методы являются одними из самых распространенных методаов вакуумного нанесения покрытий. Рассмотрены функциональные свойства получаемых покрытий, предметом особого интереса является стойкость к окислению в высокотемпературных средах.